Powlekanie jonowe jest procesem PVD, w który kluczową rolę odgrywa wiązka elektronów. Podczas gdy w rozpylaniu jonowym wykorzystuje się bombardowanie jonami argonu w celu usunięcia materiału powłoki ze źródła, to w powlekaniu jonowym składnik metalowy materiału powłoki (np. tytan lub chrom) jest wyparowany przez łuk niskonapięciowy.
1 Źródło wiązki elektronów 2 Argon 3 Gaz reagujący 4 Narzędzia, elementy powlekane 5 Materiał powłoki 6 Tygiel (anoda) 7 Niskonapięciowe rozładowanie łukowe 8 System pomp próżniowych
