PACVD = Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition 
              
올리콘발저스는 고주파 플라즈마 화학적 기상 증착법을 이용하여

고 순도의 탄소 코팅을 만들고 있습니다.

PACVD 장비의 기본 구성은 스퍼터링과 비슷합니다.

그러나, 스퍼터링으로 금속 밀착층을 형성 후 코팅층에 고주파 교류

전압을 가하여 줍니다.

코팅 물질을 함유한 가스가 진공조에 유입되면 가스가 분해되기

시작합니다. 가스는 탄소와 수소 원자로 분리되어 공구 또는 부품의

표면에 높은 밀도의 코팅층을 형성하게 됩니다. 
전압의 세기를 조정함으로써 코팅의 특성이 달라집니다.