이온 주입법은 반응성 전자 빔 증발법으로 물리적 기상 증착법의 한 종류입니다. 스퍼터링은 알곤 이온의 충돌에 의하여 금속 표면으로부터 코팅 재료를 분리시키는 방법이지만 이온 주입법은 저 전압 아크를 이용하여 금속 코팅 재료(티타늄, 또는 크롬)를 증발시키는 방법입니다.
1 전자 빔 원
2 알곤
3 반응 가스4 코팅할 부품
5 코팅 재료6 도가니 (양극)7 저 전압 아크 방출원 8 진공 펌프
