반응 스퍼터링 공정 중 첫번째 단계는 진공조안에 코팅할 제품을 가열

하는 것입니다. 가열된 제품은 이온화된 알곤 가스에 의하여 표면이

에칭(표면층 제거)됩니다. 표면 에칭 공정으로 금속표면은 오염되지

않은 순수한 금속 상태를 유지함과 동시에 미세한 원자단위의 표면

오염도 방지됩니다.

에칭 공정이 끝나면 코팅재료에 높은 음 전압이 가해지고 알곤 가스의

이온화가 시작됩니다. 알곤 양이온이 코팅재료 표면에 빠른 속도로

충돌하여 원자 상태의 코팅 원료를 표면으로부터 발생시킵니다.

기화된 금속 원자 입자들은 유입된 가스와 반응하여 경질의 비금속

화합물 코팅층을 형성하여 제품에 증착됩니다.

그 결과 원하는 구조와 조성을 가진 박막이 제품의 표면에 형성됩니다.