Balzers

공구와 정밀부품의 표면처리 공정

전해 도금/화학 도금(경질 크롬, 니켈)

장점:

단점:

•	코팅 재질 선택의 한계
•	비교적 연질 코팅
•	반응조 부산물(청산염,중금속,불화물,기름류 등)의 생태학적 문제점
•	표면 정밀도 재연성의 한계

확산 공정(질화법,질화-탄화법,보로나이징,포스페이팅)

장점:

•	우수한 내 부식성
•	우수한 재연성

단점:

화학적 기상 증착법
CVD (Chemical Vapour Deposition)

장점:

단점:

플라즈마 화학 기상 증착법
PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition)

장점:

단점:

•	내경 또는 슬롯 코팅에의 제한성

물리적 기상 증착법
PVD (Physical Vapour Deposition)

장점:

단점:

•

내경 또는 슬롯 등에 코팅 시 코팅 면적의 한계

(구멍의 경우 코팅 가능한 깊이는 내경 직경과 같음)

•

제한적인 내부식성

•

균일한 코팅 두께를 유지하기 위하여 공정 중 제품을 회전시켜야 함

•

내경 또는 슬롯 등에 코팅 시 코팅 면적의 한계

(구멍의 경우 코팅 가능한 깊이는 내경 직경과 같음)

•

제한적인 내부식성

•

균일한 코팅 두께를 유지하기 위하여 공정 중 제품을 회전시켜야 함

P3e™ (pulse Enhanced Electron Emission)

장점:

•	PVD 기술이 가지고 있는 모든 장점들
•	다양한 oxide 베이스의 코팅이 가능
•	PVD 공정에 의한 첫번째 alpha-aluminium oxide 베이스의 코팅
•	Alpha-aluminium oxide를 증착 시 CVD(1000°C)와 비교하여 낮은 증착온도(600°C)

단점:

•	PVD 기술과 같음