装置およびプロセス

およそ500台のエリコンバルザースのコーティング装置が世界中で稼動しています。これらのデータは、生産性、柔軟性、利用可能性、寿命およびコスト効果性等の基準となります。

装置と一緒に、お客様は、独自の必要性に合わせることができる実証済みの、コーティングプロセスを買ったことになります。

Process INGENIA INNOVA RS 50 RS 90
Sputtering
Arc evaporation
PACVD
P3e™
S3p™
 
Coating material INGENIA INNOVA RS 50 RS 90
TiN
TiCN
TiAlN
CrN
AlCr-ベース
WC/C (a-C:H:W)
DLC (a-C:H)
Diamond
TiAlN + WC/C
Oxide based