コーティングする工具および精密部品の入荷検査から、それがお客様の手元に届くまでのルートは、多くの、個々に段階的な、専門化された生産工程です。それにより、個々の特性が要求されたコーティングに最適のものが出来上がります。
コーティングする工具や部品は、品質、素材、表面状態をチェックしされます。お客様の使用に基づいて生産工程が決まります。
汚れの無い表面がコーティングの密着性の基本です。この理由により、エリコンバルザースは、PVDコーティングに適した前処理に多大の努力を重ねています。洗浄は、多段工程の超音波洗浄ラインで、水性のアルカリ系洗浄槽を使って、環境に害を与えるような添加剤を使うことなく行われます。洗浄は、洗浄ラインへの自動送込みによって、個々に特別なバスケットに入れて入荷することで、簡略化されます。
もし、追加的な前処理が必要ならば、エリコンバルザースは適切な方式を採用します。例えば、真空炉で空焼きすることにより、狭い内径面の残留物を取り除きます。また、マイクロブラストにより多孔質表面層を取り除きます。
コーティング前に、工具や部品は、互換性のある工具ホルダーに入れられます。それから、多くのコーティング品は、その工具ホルダと共に、自動的にローディングされます。決められた工具取り付け編成により、精度の再現性が保証されます。
プロセス・チェンバーの圧力をポンプダウンして、残留圧力を約10-6 mbar まで下げます。
装置およびプロセスのチェック
工具や部品をヒーティングして、所定の温度まで上げます。
工具や部品をイオンエッチングして、自動的に汚れの無い表面を作ります。
PVD/PACVDプロセスを用いてコーティングします。
冷却
装置および安全性チェック
エリコンバルザースのコーティング・ノウハウについての話は、前段であるエッチングとコーティングのところまで来ました。適切な中間層と言う、正確にコントロールされた膜が機能コーティングの最大密着度を約束します。コーティングは、ナノ構造を持つ単層プロセスまたは複層プロセスを使って形成されます。プラズマ条件の調節により、コーティングの特性が決まります。既に実績のある装置技術により必要なプロセスの信頼度が保証されます。
この項目では、硬度や膜厚や密着度および目視検査のような特性テストを含みます。長いコーティング経験の中で、取り決めた数量のテストより、統計的なプロセスのモニタリングが実施されています。形状的に可能な場合は何時でも、量産部品の自動化方式テストを行っています。
多くの場合、エリコンバルザースは後処理を実施しています。例えば、コーティングした工具もしくは部品を脱磁しなければならない、とか保存しておかねばならないような場合です。
コーティングした工具や部品は、通常、入荷したときの箱に梱包して返却されます。従って、もし、工具や部品が適切な洗浄バスケットに入れられて入荷すれば、多大の節約が可能です。
