PACVD = プラズマーアシスト化学蒸着（Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition）
メタルフリーの（金属を含まない）カーボンコーティングを作り出すのに、バルザースでは高周波PACVDプロセスを使用しています。
このプロセスに使われている機構は、スパッタリング用のものと類似しています。しかしながら、金属接着フィルムをスパッタリングした後で、高周波のＡＣ電圧をかけます。
コーティング成分を含むガスを導入すると、プロセスチェンバーの中でガス放電が始まります。これが、工具や部品上に緻密なコーティングを形成する炭素や水素の原子（イオンやラジカル）を作り出します。かける電圧を変化させると、コーティングの特性も変化します。
