イオン プレーティング法

イオンプレーティングは、反応性エレクトロン・ビーム蒸発法のPVDプロセスです。 スパッタリングは、金属板からコーティング材を取り出すために、アルゴンイオンによるボンバードメントを用いるけれども、イオンプレーティングにおいては、コーティング材の金属成分(例えば、チタン、クロム等)は、低電圧のアークによって蒸発させます。

1 エレクトロンビーム源

2 アルゴン

3 反応ガス

4 工具および部品

5 コーティング材

6 クルーシブル(陽極)

7 低電圧アーク放電

8 真空ポンプ

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装置およびプロセス