イオンプレーティングは、反応性エレクトロン・ビーム蒸発法のPVDプロセスです。 スパッタリングは、金属板からコーティング材を取り出すために、アルゴンイオンによるボンバードメントを用いるけれども、イオンプレーティングにおいては、コーティング材の金属成分(例えば、チタン、クロム等)は、低電圧のアークによって蒸発させます。
1 エレクトロンビーム源
2 アルゴン
3 反応ガス
4 工具および部品
5 コーティング材
6 クルーシブル(陽極)
7 低電圧アーク放電
8 真空ポンプ