僅か２～３ミクロンの大きさのアーク、というこのプロセスは、ソリッド金属コーティング材上を走り、材料の蒸発を起こさせます。使用されている高電流および高電力密度により、蒸発した材料は、ほとんど全てがイオン化されて高エネルギーのプラズマを形成します。

金属イオンは、チェンバー内に導入された反応ガスと結合し、高エネルギーを持って、コーティングする工具や部品にぶつかります。それらは、極薄の、高密着性のコーティングとして析出されます。