このテクノロジーはパルステクノロジーを用いたアーク蒸着をベースにしています。プロセスは純粋な酸素雰囲気中で行われ、電子放出とプラズマ密度はパルス電流で制御されます。
P3eTM テクノロジーは様々な酸化金属(Al2O3, ZrO2, Cr2O3, Ta2O5, etc.) と、それらの組み合わせによる蒸着が可能です。
1 酸素(O2)
2 アークソース (コーティング材)3 部品 / ツール
4 電源(パルス・カソード・アーク蒸着用)5 電源(高圧パルス基盤バイアス用)6 真空ポンプ