PVDプロセス

PVD = 物理的蒸着(Physical Vapour Deposition )

PVD 工程は、150~500℃の温度で、高真空の中で行われます。

高純度の、コーティング材(チタン、クロム、アルミなどの金属類)を、熱またはイオン・ボンバード(スパッタリング)のどちらかによって、蒸発させます。この時、同時に反応ガス(窒素ガスや炭素を含むガス)を導入します;それは、金属蒸気との複合物を形成し、工具や部品の上に、薄い、密着性の高い膜として析出されます。均一な膜厚を達成するには、部品は、数本の軸の周りを一定の速度で、回転してなければなりません。

コーティングの特性(硬度、構造、耐腐食性、耐熱性、密着性等)は、精確にコントロールされます。

PVDプロセスには、 アーク・エバポレーション, スパッタリング, イオン・プレーティング, エンハンスド・スパッタリングが含まれます。

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