優れた耐腐食性
低温処理工程
内径、スロット等の内面処理が可能
コーティング物質の選定が限定される
比較的硬度が低い表面処理となる
生態環境的に問題のある処理槽を使う(シアン化合物、重金属、フッ化物、オイルやグリースを含む)
表面再現性の精度が限定される
優れた再現性
比較的硬度が低い表面処理
母材の選択に限定あり(窒化)
処理時間が長い
処理工程から出る物質が環境や健康に害を与える
後処理が必要
高度の耐摩耗性
厚膜処理として経済的な製法
内径、スロット等の表面処理にも適用できる
処理温度が高い
数種類の金属を使ったコーティング(例、TiAlN) は不可能
エッジが丸くなる(膜厚)
生態環境的に問題のある有害な金属の塩化物を使用
CVDと比較して極めて低い温度でのコーティングが可能
精度の高いコーティング
低温
内径、スロット等に対して適性が限定される
環境に害を与えるような物質や放射物が無い。有毒反応を起こす製品が無い。
多種多様のコーティングが可能。
ほとんどのスティールの最終熱処理温度以下のコーティング温度
極薄で精密な再現性のある膜厚(高精度の面粗再現性、寸法精度に忠実)
高い耐摩耗性
低摩擦係数
内径、スロット等は、直径に等しい深さまで、もしくは、開口部の幅までのコーティングが限度である。
耐腐食性は、ある条件の下でのみ
均一なコーティング膜厚を得るためには、コーティングされる部品は工程中回転してなければならない。
PVDテクノロジーのすべての利点
多様性に富んだ酸化ベースコーティングの可能性
PVDプロセスにより世界初のα-アルミニウム酸化物ベースコーティング
CVD処理(1000℃)と比較し低温(600℃)のα-アルミニウム酸化蒸着
PVDテクノロジーに同じ