PACVD = Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition (Deposizione di vapori chimici assistita da plasma)
Per produrre rivestimenti in carbonio senza metalli, Oerlikon Balzers utilizza il processo PACVD ad elevata frequenza.
L'impostazione utilizzata in questo processo è simile a quella per la polverizzazione. Ma dopo la polverizzazione di una pellicola ad adesione metallica, è applicata una tensione CA ad elevata frequenza.
All'introduzione di un gas contenente gli elementi del rivestimento, nella camera di processo si verifica una scarica di gas. Ciò crea atomi di carbonio e di idrogeno (ioni e radicali) che formano un rivestimento denso sugli utensili e sui componenti. La variazione della tensione applicata influenza le proprietà del rivestimento.
1 Argo
2 Gas reattivo
3 Componenti
4 Guaina di plasma
5 Connessione a frequenza elevata
6 Pompa a vuoto
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