|
Tipikus gyártási folyamat
A bevonandó szerszámok és precíziós alkatrészek beérkezési ellenőrzésétől az Ügyfél részére történő kiszállításig tartó úton egy sok lépésből álló, specializált termelési folyamat található - amely az adott, különleges tulajdonságokkal rendelkező bevonatnak megfelelő kialakítású:
Beérkezési ellenőrzés
|
A bevonandó elemek darabszámát, alapanyagát és felületi állapotát ellenőrizzük. Az ügyfélspecifikációk alapján egy gyártási sorrendet határozunk meg. |
Tisztítás
|
A tiszta felületek döntő szerepet játszanak a bevonat megtapadásában. Ezért az Oerlikon Balzers igen jelentős hangsúlyt fektet a PVD-nek megfelelő felületi előkészítésre: A tisztítás több fokozatban történik egy ultrahangos tisztítósoron, vizes alkáli oldószerekben, mely nem tartalmaz környezetterhelő adalékot. A tisztítást megkönnyíti a speciális kosarakban történő leszállítás, illetve a tisztítósor automatizált felrakodása. |
Előkezelés
|
Amennyiben további előkezelés szükséges, akkor az Oerlikon Balzers az annak megfelelő technológiát alkalmazza: A vákuumkemencében történő kiizzítás például a szűk furatokban megtapadt anyagmaradék eltávolítását szolgálja; a mikroszemcseszórás megszünteti a porózus felületeket. |
Rendszerezés
|
A bevonatolás előtt a munkadarabokat cserélhető szerszámtartókba helyezik, az így előkészített tányérokat a karusszelre felfűzik, amely a későbbiekben bekerül a berendezésbe. Tömegtermelés esetén a munkadarabok tartókban történő rendszerezése teljesen automatikusan történik. Ennek során a munkadarabok definiált elrendezése biztosítja a precíz reprodukálhatóságot. |
Bevonatolás
|
A bevonatolás automatikus vezérlésű, valamint dokumentált folyamatok sorozatából áll. A speciális Oerlikon Balzers bevonatolási technológiát a következő folyamat sorrend jellemzi: |
| • |
A folyamatkamra kiszivattyúzása kereken 10-6 mbar alapnyomásra |
| • |
Berendezés- és folyamatellenőrzés |
| • |
A szerszámok, illetve az alkatrészek felhevítése a szükséges hőmérsékletre |
| • |
A szerszámok/alkatrészek ionos maratása az atomi szinten tiszta felület kialakítása érdekében |
| • |
Bevonatolás PVD-/PACVD eljárással |
| • |
Lehűtés |
| • |
Berendezés- és biztonsági ellenőrzés
|
Az Oerlikon Balzers bevonatolási know-how-ja a maratási és a bevonatolási szakasz átmeneténél válik egyértelművé. A megfelelő köztes rétegek vezérelt felhordása gondoskodik ennek során a funkciós bevonat optimális tapadásáról. A bevonat monolayer- vagy multilayer-eljárásban, valamint nanostruktúrában is felhordható. A plazmaparatméterek beállítása határozza meg a bevonat tulajdonságait, és a bevált berendezéstechnológia garantálja a szükséges folyamatbiztonságot.
Végellenőrzés
|
Ide tartoznak az olyan tulajdonságok, mint például a keménység, a bevonatvastagság és -tapadás ellenőrzése, valamint a szemrevételezés. A sorozatos bevonatolásnál egy megállapodás szerinti mennyiségű mintadarabot vesznek, és a statisztikai folyamatellenőrzés mellett elvégzik a megállapodásnak megfelelő vizsgálati nagyságrendek statisztikai folyamatellenőrzését. A sorozatgyártású munkadarabok automatizált vizsgálata mindenütt megtörténik, ahol az a gazdasági szempontok szerint lehetséges. |
Utókezelés / konzerválás
|
Az Oerlikon Balzers sok esetben végez utókezelést, például, ha a bevonatolt szerszámokat, illetve gépelemeket demagnetizálni vagy konzerválni szükséges. |
Csomagolás / kiszállítás
|
A bevonatolt elemeket általában ugyanabban a göngyölegben küldik vissza, mint amiben megérkeztek. Különösen nagy megtakarítási lehetőséget képez, ha az alkatrészeket eleve megfelelő tisztítókosarakban szállítják le. |
|
|
|
|