Az ionplating egy PVD-eljárás, amely a reaktív elektronsugaras párologtatást használja. Ha az ionbesugárzás során a bevonóanyagot az argonionokkal történő bombázása során egy fémlemezről nyerik, akkor az ionplanting során a bevonóanyag fémes komponensét (pl. titánt vagy krómot) egy alacsony feszültségű fényív párologtatja el.
1 Elektron besugárzó forrás
2 Argon
3 Reakciós gáz
4 Munkadarabok
5 Bevonóanyag
6 T égely (anód)
7 Alacsony feszültségű ívkisülés
8 Vákuumszivattyú
|
