Ennél az eljárásnál egy néhány mikrométer átmérőjű fényív halad át a szilárd, fémes bevonatanyagon, és elpárologtatja azt. A folyamat során felhasznált magas áramerősség és teljesítménysűrűség miatt az elpárolgott anyag nagyrészt ionizálódik, és nagy energiájú plazmát képez.
A fémionok egy ezzel egyidejűleg bevezetett reakciós gázzal kapcsolódnak össze, és a bevonatolni kívánt szerszámon, illetve alkatrészen nagy energiával csapódnak be. Itt aztán vékony, szilárdan tapadó rétegként csapódnak le.
1 Argon
2 Reakciós gáz
3 Arc-források (bevonatoló anyag és hordozólemez)
4 Munkadarabok
5 Vákuumszivattyú
|
