A reaktív ionbesugárzás során a bevonatolandó elemeket a berendezéskamrában első lépcsőben felhevítik. Ezután történik meg az ionos maratás az argonionokkal történő besugárzás következtében. Ez egy tiszta fémes felületet képez, amely mentes minden atomi szennyeződéstől - a bevonat tapadásának szempontjából jelentős feltétel.
Ezután a bevonatoló anyaggal feltöltött szóróelemekre magas negatív feszültséget kapcsolnak. Az ezáltal begyúló elektromos gázkisülés vezet a pozitív argonionok képződéséhez, amelyek a bevonat anyagának irányában gyorsítanak, és azt szétporlasztják. A porított fémrészecskék egy további bevezetett reakciós gázzal reagálnak, amely a későbbi keménybevonat nemfémes komponensét tartalmazza.
Az eljárás eredményeként egy vékony, kompakt bevonat képződik a szubsztrátum felületén a kívánt sturktúrával és összetétellel.
1 Argon
2 Reakciós gáz
3 Planáris magnetron porlasztó forrás (bevonat anyaga)
4 Munkadarabok
5 Vákuumszivattyú
|
