Auch hier gilt: Die langjährige Erfahrung im Betrieb eigener Beschichtungszentren versetzt Oerlikon Balzers in die Lage, für alle nur erdenklichen Formen und Größen von Werkzeugen und Bauteilen praxiserprobte Standardlösungen anzubieten oder kundenspezifisches Zubehör zu entwickeln. Dabei sind zahlreiche Details zu beachten, die entscheidenden Einfluss auf die Qualität und Reproduzierbarkeit der Schichten haben:
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Prozessgerechte, an die Anlagenkammer angepasste Beladung |
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Einwandfreie Funktion der mechanischen Teile und Magnete (Achsen-Rotation, Prozesstemperaturen bis 500 °C, Vakuum) |
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Einfluss der Zubehör-Werkstoffe auf das Vakuum und das elektrische Verhalten |
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Gewährleisten einer gleichmäßigen Schichtdickenverteilung und eines homogenen Schichtaufbaus |
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Prozessgerechte Zugänglichkeit der zu beschichtenden Oberflächen |
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Möglichst geringes Gewicht, um Aufheiz- und Abkühlzeiten zu verkürzen |