|
Hainbat prozesu erabiltzen dira erreminten eta doitasun-osagaien azalak hobetzeko, eta haien prestazioak eta errendimendua bultzatzeko.
Gure estaldura-sistemarekin erabili ohi ditugun azal-tratamendurako prozesuak konparatzen baditugu, Oerlikon Balzersek erabiltzen dituen PVD, PACVD eta P3eTM prozesuek abantaila argiak dituzte.
Azal-tratamendurako metodoen geruza-lodierak eta deposizio-tenperaturak
1 Plasma-birrintzea
2 Deposizio elektrolitikoa eta kimikoa
3 Fosfatatua
4 Nitrurazioa (geruza biguna)
5 Boronizatua
6 CVD
7 PVD, PACVD
8 P3eTM
PVD = lurrun-deposizio fisikoa
PACVD = plasmaz lagundutako lurrun-deposizio kimikoa
P3eTM = elektroien emisio pultsatua
Prozesu horietarako, erremintak edo osagaiak kamera batean kokatzen dira eta hartan hutsa sortzen da. Hutsean soilik jalki daitezke berregingarritasunaz µm bakar batzuetako estaldurak, konposizio definitu eta propietate zehatzekin.
|
