PACVD = Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition
K výrobě nekovových uhlíkových povlaků používá společnost Oerlikon Balzers vysokofrekvenční proces PACVD.
Uspořádání procesu se podobá procesu naprašování. Po naprášení kovové vrstvy pojiva se přivede vysokofrekvenční střídavé napětí.
Po přivedení plynu, který obsahuje prvky materiálu vlastní vrstvy, uskuteční se v pracovní komoře elektrický výboj v plynu. V tomto výboji vzniknou atomy uhlíku a vodíku (ionty a radikály), které vytvoří na nástrojích a součástkách kompaktní vrstvu. Změnami přivedeného napětí se ovlivňují vlastnosti vrstvy.
1 Argon
2 Reakční plyn
3 Nástroje
4 Okraj plasmy
5 Vysokofrekvenční přívod
6 Vakuové čerpadlo
|
