Při reaktivním naprašování se díly, které se
povlakují, nejdříve ohřejí v komoře zařízení. Poté následuje iontové leptání ostřelováním argonovými ionty. Výsledkem je dokonale čistý kovový povrch bez atomárních kontaminací - to je důležitý předpoklad dobré přilnavosti vrstvy.
Poté se na zdroj naprašovaného materiálu přivede záporné elektrické napětí. Elektrický výboj v plynu, který se takto zapálí, vytvoří kladné argonové ionty, které se urychlují ve směru k nanášenému materiálu a rozprašují ho. Rozprášené kovové částečky reagují s přiváděným reaktivním plynem, který obsahuje nekovovou složku pozdější tvrdé vrstvy.
V důsledku toho se na substrátu sráží tenká, kompaktní vrstva požadované struktury a složení.
1 Argon
2 Reakční plyn
3 Planární magnetronový zdroj naprašovaného materiálu (nanášený materiál)
4
Nástroje
5 Vakuové čerpadlo
|
