欧瑞康巴尔查斯涂层

PACVD=离子增强化学气相沉积

欧瑞康巴尔查斯涂层用高频率PACVD工艺生产无金属碳涂层。

此工艺中所用的设备类似于溅射的设备。但溅射出金属粘附膜后，加上高频交流电压。

加入含涂层元素的气体后，在处理室中发生气体放电。这将生成碳和氢原子（离子和原子团），它们在工具和元件上形成紧密的涂层。涂层属性受施加电压的影响。