离子电镀
离子电镀是使用反应性电子束蒸发的PVD工艺。溅射通过用氩离子轰击从金属板上移离涂层材料;在离子电镀中,用低压电弧蒸发涂层材料的金属成分(例如,钛或铬)。
1 电子束源
2 氩
3 反应气体
4 元件
5 涂层材料
6 坩锅(阳极)
7 低压电弧放电
8 真空泵
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系统和工艺