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电弧蒸镀
在此工艺中，直径仅为几微米的电弧环绕坚固的金属涂层材料运动，使该涂层材料蒸发。由于使用了强电流和功率密度，蒸发材料几乎全部离子化并形成高能量的等离子。

金属离子与加入到反应室中的反应气体结合，以高能量冲击待涂的工具或元件,最后沉积为薄而高度粘附的涂层。
1 氩
2 反应气体
3 电弧源（涂层材料和背板）
4 元件
5 真空泵
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