增强溅射
增强溅射的原理类似于喷射工艺。低压电弧在真空室中央放电使等离子强度增大几倍,从而产生强度更高的电离。
1 电子束源
2 氩
3 反应气体
4 平面磁控管蒸发源(涂层材料)
5 元件
6 低压电弧放电
7 辅助阳极
8 真空泵
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系统和工艺