P3e™ 强脉冲电弧蒸发

此工艺是基于使用脉冲技术的电弧蒸发。这个工艺能在存氧气的环境中运行。电弧蒸发和脉冲电流控制的等离子密度。

使用P3eTM 技术,任何氧化金属(Al2O3, ZrO2, Cr2O3, Ta2O5, 等.) 及其结合物。

1 氧气 O2
2 电弧靶材(涂层材料)
3 零部件 / 工具
4 阴极脉冲电弧蒸发供应电源
5 强脉冲基层偏压供应电源
6 真空泵
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Systems and Processes