PVD工艺
PVD=物理气相沉积

在高真空、温度介于150到500时进行PVD处理。

通过加热或离子轰击(喷射)使坚固的高纯度涂层材料(金属,如钛、铬和铝)蒸发。同时,加入反应气体(例如氮或含碳气体),这些气体与金属蒸气反应生成化合物,然后沉积在工具或元件上形成薄而高度粘附的涂层。为了使涂层厚度均匀,以匀速绕多个轴旋转零件。

涂层的属性(例如硬度、结构、耐化学性和耐温性、附着性)可得到精确控制。

PVD工艺包括电弧蒸镀溅射离子电镀增强溅射
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系统和工艺