PACVD = Deposição química de vapor assistida por plasma 
                
Para a elaboração de revestimentos de carbono isentos de metal, a Oerlikon Balzers emprega o processo PACVD de alta freqüência.

A configuração utilizada neste processo é similar à seguida para a pulverização catódica. Porém, após a crepitação da película aderente metálica, é aplicada uma tensão AC de alta-freqüência.

Ao introduzir-se o gás que contém os elementos de revestimento, ocorre uma descarga de gás na câmara do processo. Isto, cria átomos de carbono e hidrogênio (íons e radicais) que formam um revestimento denso nas ferramentas e nos componentes.

A variação na tensão aplicada influencia as propriedades do revestimento.