Ionplating ist ein PVD-Verfahren, das reaktives Elektronenstrahl-Verdampfen nutzt. Wird beim Sputtern das Beschichtungsmaterial durch Beschuss mit Argonionen von einer Metallplatte abgetragen, so wird beim Ionplating die metallische Komponente des Schichtmaterials (z. B. Titan oder Chrom) durch einen Niederspannungs-Lichtbogen verdampft.
1 Elektronenstrahlquelle
2 Argon
3 Reaktionsgas
4 Werkstücke
5 Beschichtungsmaterial
6 Tiegel (Anode)
7 Niedervoltbogenentladung
8 Vakuumpumpe
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