Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Werkzeugen und Präzisionsbauteilen
Galvanisches Beschichten (Hartchrom, Chemisch-Nickel)
Vorteile:
•  gute Korrosionsbeständigkeit
•  niedrige Verfahrenstemperatur
•  Abscheidung auch in Bohrungen, Schlitzen etc.
Nachteile:
•  begrenzte Wahl des Schichtmaterials
•  relativ weiche Schichten
•  Umweltbelastung durch Behandlungsbäder (z.B. Cyanide, Schwermetalle, Fluoride, Öle, Fette)
•  Begrenzte Konturentreue
Diffusionsverfahren (Nitrieren, Nitrocarburieren, Borieren, Phosphatieren, usw.)
Vorteile:
•  gute Korrosionsbeständigkeit
•  gute Reproduzierbarkeit
Nachteile:
•  relativ weiche Schichten
•  eingeschränkte Auswahl des Grundwerkstoffes (muss nitrierfähig sein)
•  lange Prozesszeiten
•  umweltbelastende und gesundheitsgefährdende Stoffe aus den Prozessen
•  Nachbehandlung nötig
CVD (Chemical Vapour Deposition)
Vorteile:
•  hohe Verschleißfestigkeit
•  wirtschaftliche Herstellung größerer Schichtdicken
•  auch für Bohrungen, Schlitze usw. geeignet
Nachteile:
•  hohe Prozesstemperaturen
•  Schichten aus mehreren Metallkomponenten (z. B. TiAlN) sind möglich
•  Kanten verrunden (Schichtdicke)
•  Verwendung umweltbelastender, giftiger Metallchloride
PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition)
Vorteile:
•  wesentlich niedrigere Prozesstemperaturen als beim CVD möglich
•  präzise Schichten
•  tiefe Temperaturen
Nachteile:
•  für Bohrungen, Schlitze usw. nur bedingt geeignet
PVD (Physical Vapour Deposition)
Vorteile:
•  keine umweltbelastenden Stoffe und Emissionen, keine toxischen Reaktionsprodukte
•  große Schichtvielfalt herstellbar
•  Beschichtungstemperatur unter der Vergütungsendtemperatur der meisten Stähle
•  geringe, präzise reproduzierbare Schichtdicke (hohe Konturentreue, beste Größenanpassung,
•  hohe Verschleißfestigkeit
•  niedrige Reibwerte
Nachteile:
•  Bohrungen, Schlitze etc. können nur bis zu einer Tiefe beschichtet werden, die dem Durchmesser bzw. der Breite der Öffnung entspricht
•  bedingte Korrosionsbeständigkeit
• 

um eine gleichmäßige Schichtdicke zu erzielen, müssen die zu beschichtenden Teile während des Prozesses rotieren

P3eTM (pulse Enhanced Electron Emission)
Vorteile:
•  Alle Vorteile der PVD Technologie
• 

Eine große Auswahl von Oxid basierenden Schichten möglich

• 

Erste Alpha-Aluminiumoxid basierende Schicht bei einem PVD Prozess

• 

Niedrigere Beschichtungstemperaturen ( 600 °C) im Vergleich zu

CVD (1000 °C)

Nachteile:
•  Dieselben als bei der PVD Technologie